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掃描式電子顯微鏡/掃描電鏡主要功能

掃描式電子顯微鏡主要功能有三:5~1,000,000倍影像觀察、真實影像尺規量測、點-線-面成分分析。影觀察方面,掃描式電子顯微鏡涵蓋了低倍率~高倍率的影像觀察,更包括了二次電子像、被散電子像、成分像、拓樸像等多種影像觀察模式。且告種影像還能以任意比例進行疊圖,方便對比使用。

掃描式電子顯微鏡在成分分析方面主要有EDS能譜、WDS波譜兩種偵測器可以搭配。EDS能譜分析速度較快,元素檢測極限約1000~2000ppm。WDS波譜分析速度較慢,但元素偵測極限較好,約在10~100ppm。EDS成分分析分析方法上面有三種模式可以選擇。點分析:奈米範圍內微小區域成分分析,可以幫助使用者做特定區域的分析。線掃描:可以觀察掃描線段區域的成分變化。面掃描:可以觀察各成分的2D分布狀況。

 

在微觀尺度下,許多尺規量測都是間接式的,掃描式電子顯微鏡可以提供直接影像尺規量測,搭配適當的尺規量測標準件,量測結果具有相得的參考價值。

擁有良好的景深,萬倍放大倍率

觀察影像、奈米尺度下進行尺規量測

掃描式電子顯微鏡擁有強大的影像放大功能,從5~1000000放大倍率。特殊的電子光學特性,讓掃描式電子顯鏡經擁有良好的景深。在各種景深位置,不產生失焦的狀況,都能夠觀察到清晰的圖像。

掃描式電子顯微鏡可以提供直觀的尺規量測功能。在微米~奈米的尺度下直接對樣品影像進行尺規量測。搭配適當尺規量測標準件,可作直接尺規量測。

二次電子影像,完整的型態凹凸起伏

可觀察背散電子像、成分像、拓樸像

可偵測的二次電子產生於物體表面的5~10奈米範圍內,因此二次電子影像具有良好的空間分辨率,掃描式電子顯微鏡二次電子影像可以輕鬆達到奈米級別分辨率,在無干擾的狀況下觀察樣品影像。

可偵測的背散電子產生於樣品表面50~200奈米範圍內,雖然分辨率不如二次電子像,但背散電子訊號強度較大,且可以觀察背散電子像、成分像、拓樸像等多種影像。對影像觀察、成份比較相當有幫助。

EDS 點-線-面的定性、定量、成分分佈圖

樣品艙X/Y/Z/R/T五軸可調

搭配EDS能譜可快速進行元素定性、定量分析。可選三種分析方法:點分析--奈米區域範圍內的元素分析。線分析--掃描線段範圍的元素變化。面分析--各元素的2D空間分佈狀況。

掃描式電子顯微鏡最多可搭配X/Y/Z/R旋轉/T傾斜,五組可調軸。方便進行影像尋找與觀察。可以快速調整樣品位置到最佳觀察狀況。優中心化的五軸調整後,樣品聚焦位置不改變。

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