掃描電鏡/掃描式電子顯微鏡選購配件

EDS能譜儀，元素快速定性定量分析

WDS波譜儀，高分辨率元素分析更靈敏

EDS能譜儀是掃描電子顯微鏡最常見的選購配件，可以直接分析樣品的元素組成。具有分析快速、多元素同時分析的特性。通常分析範圍從B~U，可以做點分析、線掃描分析、面掃描分析。檢測能力約在數百ppm範圍。

WDS波譜儀具有極高的光譜分辨率，大約是4eV。相對於EDS能譜儀120eV的分辨率，WDS對光譜的解析更優秀，共存元素之間光譜干擾更小，元素檢測極限更低。但分析樣品時需要逐一掃描，所以分析間較長。

電子背向散射繞射EBSD結晶取向

離子濺鍍儀增加樣品導電性

電子背向散射繞射EBSD可用來觀察金屬與結晶體的結晶取向，作為瑕疵分析、斷裂分析的重要工具。它具有分析快速的特性，在金屬行業與半導體行業的應用甚為廣泛。

真空濺鍍儀可以在樣品表面濺鍍上一層金或是鈀來增加樣品導電性。濺鍍後的樣品可以直接在高真空狀態下直接觀察二次電子圖像、背散電子圖像，也可以使用EDS做成分分析，是最簡單有效的樣品前處理方法。

五軸自動位移操作更方便

影像觀察二次電子、背散電子偵測器

掃描電子顯微鏡可以選擇全手動軸、X/Y兩軸自動、X/Y/Z三軸自動、五軸全自動。自動軸越多操作越方便，當然價格就越高。若搭配EDS能譜操作，建議最少選購X/Y兩軸自動以上的配置。

二次電子偵測器是掃描電子顯微鏡最重要的偵測器，具有高分辨率、低干擾的特性，可以達到數個奈米的分辨率。而背散電子偵測器則可以觀察成分像、拓樸像、背散電子像等多種影像模式。

JCM-7000桌上型扫描电镜

JSM-IT100扫描电子显微镜

JSM-IT500HR扫描电子显微镜

JCM-7000台式扫描电镜，影像观察＋成份分析＋尺规量测。快速高丶低真空切换，能观察二次电子影像丶被散电子影像，功能完整强大。

JSM-IT200扫描电镜是日本电子在2018 年将在全球同步推出的全新数字化扫描电镜，其性能优异、自动化程度高、操控界面人性化及稳定性最高的扫描电镜，可广泛的应用于各个领域。

JSM-IT500是JEOL InTouchScope系列的新机型。 从设定视野到生成报告，用于分析的软件整合于一体，加快了作业速度！是一款无缝操作，使用更加方便的扫描电子显微镜。