IB-19530CP 扫描电镜样品制备
扫描电镜样品制备,离子研磨仪,离子切片仪,满足市场多样化的需求,离子研磨仪IB-19530CP截面抛光仪采用多用途样品台,通过交换各种功能性样品座实现了功能的多样化。根据需要可以选择不同的功能性样品座,不仅能截面刻蚀,还可以进行平面刻蚀、离子束溅射镀膜等。
高通量
自动加工程序
通过配备高速离子源和利用自动开始加工功能,不需花费时间等待加工开始,短时间内就能刻蚀。
快速加工和精抛加工可以程序化,短时间内就能制备出高质量的截面。此外,利用间歇加工模式,还能抑制加工温度。
设置简单
多用途样品台
功能性样品座采用模块化设计,在光学显微镜(另售)下也能调整加工位置。
通过选择各种功能性样品座,不仅能截面刻蚀,还可以进行平面刻蚀、离子束溅射镀膜等。
高耐久性遮光板
IB-19530CP 主要技术指标
遮光板的耐久性是旧机型的3倍左右,能支持高速率加工和长时间刻蚀。
离子加速电压 : 2~8kV
刻蚀速率 : 500μm/h
承载样品的最大尺寸 : 11mm(宽度)×10mm(长度)×2mm(厚度)
样品摆动功能 : 刻蚀过程中,样品自动摆动±30° (专利:第4557130号)
自动加工开始模式 : 达到设定的压力值后可自动开始加工。
间歇加工模式 : 脉冲控制离子束流照射,可以抑制加工时产生的热量。
精抛加工模式 : 主加工结束后,自动开始精抛加工。
热门资讯
加速电压控制在 7 kV,能观察到样品表面的台阶。
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低加速电压能减轻电子束的辐照损伤,也能观察易受热损伤的样品。
样品:膈膜 SEI 加速电压 2.7 kV 倍率 × 20,000
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