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離子切片儀EM-09100IS Ion Slicer
利用離子切片儀除了需要將樣品切成矩形薄片外不需要常規的透射電鏡制樣過程(電解液或前期處理的手工研磨,凹坑機研磨)可直接製備薄膜樣品.用於TEM
/ STEM / SEM / EPMA / AUGER的創新的樣品製備方法
主要特点：
1.高品質的透射電鏡前期製備
2.快速加工
3.無需複雜前處理
4.最小限度表面損傷
技術參數
| 加速電壓 |
1 ∼ 8kV |
| 傾斜角 |
最大±6º |
| 離子束直徑 |
500μm(FWHM) |
| CCD |
內置 |
| 儀器尺寸 |
500mm(W)×600mm(D)×542mm(H)、63kg |
| 切片速度 |
5μm/min(加速電圧:8kV、Si換算) |
| 最大樣品尺寸 |
2.8mmD×0.5 mmW×0.1mmH |
| 真空抽氣系統 |
涡轮分子泵或机械泵 |
离子切片仪制备薄膜样品比传统的制备工具快速,简单. 低能量,低角度(0° 到 6°)的氩气离子束通过遮光带照射样品,彻底消除离子束对样品的损伤.即使是柔软的材料,样品制备质量也极好.离子切片仪能够有效制备不同成份的样品甚至含有多孔合成物
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